無(wú)氧烘箱是如何實(shí)現(xiàn)無(wú)氧環(huán)境的？

隨著各類(lèi)產(chǎn)品工藝的日益精進(jìn)和要求的提高，催發(fā)了無(wú)氧烘箱在工業(yè)用途上的普及。尤其是半導(dǎo)體行業(yè)，在此類(lèi)烘箱的需求上日益旺盛。

那么我們所說(shuō)的無(wú)氧烘箱是如何實(shí)現(xiàn)無(wú)氧環(huán)境的呢？下面海向小編給大家介紹一下：

無(wú)氧烘箱內(nèi)部工作室的無(wú)氧環(huán)境主要是通過(guò)氮?dú)庵脫Q來(lái)實(shí)現(xiàn)的。

往設(shè)備腔體內(nèi)經(jīng)專(zhuān)用進(jìn)氣口和導(dǎo)管充入高純氮?dú)猓?/span>氮?dú)獾?/span>一般純度在99.99%以上(可以根據(jù)不同產(chǎn)品對(duì)氧含量的不同要求來(lái)選擇氮?dú)饧兌?/span>)。

海向無(wú)氧烘箱的氮?dú)馀叛蹩刂葡到y(tǒng)采用雙路氮?dú)鈱?dǎo)入回路，各向箱內(nèi)提供0~100L/min+0~480L/min的氮?dú)?，每路配套進(jìn)口電磁閥，雙流量自動(dòng)切換，到達(dá)設(shè)定濃度自動(dòng)關(guān)閉保持低氧濃度環(huán)境，自動(dòng)切換至低流量氮?dú)猓蟠蠊?jié)省氮?dú)庀牧?，也可根?jù)工藝制程要求，自行設(shè)定，滿足多種工藝需求。

氮?dú)鈮毫z測(cè)-100kpa~100kpa可設(shè)定，當(dāng)腔內(nèi)內(nèi)部氮?dú)庹龎毫Τ鲱A(yù)警壓力值自動(dòng)報(bào)警切斷進(jìn)氣閥門(mén)。

海向建議大型氮?dú)夂嫦浠蛘哐鹾恳筝^低的，最好自己工廠具備制氮機(jī)，因?yàn)楸３州^低的氧含量就需要不間斷的充入氮?dú)?，?duì)氮?dú)獾牧髁恳筝^大，而瓶裝氮?dú)獾某杀鞠鄬?duì)較高，故有制氮機(jī)是較佳選擇。

氮?dú)膺M(jìn)入后，經(jīng)過(guò)高溫加熱再通過(guò)過(guò)濾器，反復(fù)循環(huán)，達(dá)到要求的數(shù)值。目前，氧含量檢測(cè)主要基于氧氣傳感器。接通電源，達(dá)到一定值，氧氣傳感器，開(kāi)始檢測(cè)。

海向建議：不要長(zhǎng)時(shí)間在潔凈室外使用設(shè)備。長(zhǎng)期在有塵環(huán)境中使用?？諝庵械?/span>大量顆粒灰塵會(huì)大大降低空氣濾清器的壽命。